style="width:3.11331in" />GB/T 20510—2017 本文是学习GB-T 20510-2017 氧化铟锡靶材. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们
本标准规定了氧化铟锡(简称ITO)
靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输与贮存、质
量证明书、订货单(或合同)内容等。
本标准适用于以99.99%金属铟、锡为原料生产的氧化铟锡靶材，用于制作透明导电膜。
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件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 351 金属材料电阻系数测量方法
GB/T 5163 烧结金属材料(不包括硬质合金) 可渗性烧结金属材料
密度、含油率和开孔率的
测定
GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 13298 金属显微组织检验方法
GB/T 16535 精细陶瓷线热膨胀系数试验方法 顶杆法
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
表观密度 density
每单位体积物质的质量。
3.2
相对密度 relative density
物质的密度与参照物的密度的比值。
注
： 在本标准中氧化铟锡靶材的相对密度为靶材表观密度与理论密度的比值。氧化铟锡靶材当质量百分比
In₂O₃ :SnO₂=90:10 时，理论密度以7.155 g/cm³ 计 算 。
3.3
开尔文电桥 Kelvin bridge
开尔文电桥，是一种利用电位比较的方法进行测量的仪器，具有很高的灵敏度和准确性，在电测技
术和自动控制测量应用极为广泛。而开尔文电桥又是惠斯通电桥的变形，在测量小阻值电阻(通常\<1欧)
时具有相当高的准确度，适于测量10-5Ω~10Ω低阻值电阻。
氧化铟锡靶材按相对密度分为三个牌号：RD99.0、RD99.5、RD99.7。
GB/T 20510—2017
氧化铟和氧化锡的质量百分比In₂O₃ :SnO₂=90:10, 偏差为±0.5。
4.2.2 氧化铟锡靶材的主要杂质成分应符合表1的规定。
表 1 氧化铟锡靶材主要杂质成分
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4.2.3
需方如对氧化铟锡靶材主要成分的质量百分比和杂质成分有特殊要求时，由供需双方商定。
4.3.1 相对密度：RD99.0 、RD99.5 、RD99.7
牌号的氧化铟锡靶材相对密度应分别≥99.0%、99.5%、
99.7%;密度均匀性偏差为±0.2。
4.3.2 电阻率：≤1.6×10-+Ω ·cm。
4.3.3 线膨胀系数：6×10-6℃-¹~9×10-6℃-。
氧化铟锡靶材呈片状或其他形状，其规格尺寸及其偏差由供需双方商定。
4.5.1 表面粗糙度：Ra≤1.6(μm)。
4.5.2 氧化铟锡靶材呈黑色或灰黑色，颜色应均匀。
4.5.3 氧化铟锡靶材表面应平整，无裂纹，无明显崩边，气孔直径不大于0.3 mm,
且无任何外来夹杂 物、缺陷和污染物。
氧化铟锡靶材的 SnO。 固熔到 In₂O 中，Sn 在靶材中均匀分布，晶粒均匀。
氧化铟锡靶材化学成分的仲裁分析方法由供需双方商定。
氧化铟锡靶材的表观密度按 GB/T 5163 的规定进行测定。
GB/T 20510—2017
氧化铟锡靶材的电阻率按GB/T 351 的规定进行测定。
氧化铟锡靶材线膨胀系数的按GB/T 16535 的规定进行测定。
氧化铟锡靶材的物理规格采用相应精度的测量仪器进行测定。
氧化铟锡靶材的表面质量采用目视法或相应仪器进行检验。
氧化铟锡靶材的组织均匀性采用GB/T 13298的规定进行检验。
6.1.1
氧化铟锡靶材应由供方质量技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准或订货单(合同)
的规定，并填写质量证明书。
6.1.2
需方对收到的产品按本标准的规定进行检验。如检验结果与本标准或订货单(合同)的规定不
符时，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样在需方由供
需双方共同进行。
氧化铟锡靶材应成批提交检验，每批应由同一生产工艺、同一批原料生产的产品组成。
6.3.1 每批氧化铟锡靶材应进行化学成分、物理性能、组织均匀性的检验。
6.3.2 每片(件)氧化铟锡靶材应进行物理规格、表面质量的检验。
氧化铟锡靶材化学分析样的采取和制备方法由供需双方商定。
6.4.2.1
表观密度检验试样的采取：从产品中按片(件)随机抽取10%样品，但不少于1片(件),沿靶材
的中心线，用线切割机等距分取20 mm×20 mm
的样品3～4块，用超声波清洗器清洗干净后进行表观 密度的测定。
6.4.2.2
电阻率检验试样的采取：从产品中按片(件)随机抽取10%的样品，但不少于1片(件),用线切
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割机沿氧化铟锡靶材的边切割长120 mm
的矩形长条2个，用超声波清洗器清洗干净后进行电阻率的
测定。
6.4.2.3
线膨胀系数检验试样的采取：从产品中按片(件)随机抽取10%的样品，但不少于1片(件),用
线切割机沿氧化铟锡靶材的边切割下与标准样品尺寸一致的长条2个，用超声波清洗器清洗干净后进
行线膨胀系数的测定。
组织均匀性检验试样的选取由供需双方商定。
6.5.1 氧化铟锡靶材检验结果的数值修约和修约后数值的判定按GB/T 8170
中的有关规定进行。
6.5.2
氧化铟锡靶材的化学成分、物理性能和组织均匀性的检验结果与本标准或订货单(合同)的规定
不符时，按批判不合格。
6.5.3
氧化铟锡靶材的物理规格、表面质量与本标准或订货单(合同)的规定不符时，按片(件)判不
合格。
7 包装、标志、运输与贮存、质量证明书
每片氧化铟锡靶材应在洁净环境下采用真空包装，并采用相应的防震措施。
每片(件)氧化铟锡靶材的包装上应标注注册商标(或企业标志),产品名称、批号及产品合格标志。
氧化铟锡靶材应存放在干燥阴凉的库房。运输及贮存过程中应注意防震、防潮、防压、防止二次
污染。
需方如对氧化铟锡靶材的标志、包装、运输与贮存有特殊要求时，由供需双方商定。
每批氧化铟锡靶材出厂时应附质量证明书，其上注明：
a) 供方名称和商标；
b) 产品名称；
c) 牌号；
d) 批 号 ；
e) 净重和件数；
f) 分析检验结果和技术监督部门印记；
g) 本标准编号；
h) 出厂日期。
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本标准所列材料的订货单(或合同)内应包括下列内容：
a) 产品名称；
b) 牌号；
c) 化学成分、物理性能、物理规格、表面质量等特殊要求；
d) 数量；
e) 本标准编号；
f) 其他。
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